Ausschreibungsdetails
Auftragsbekanntmachung
Richtlinie 2014/24/EUAbschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber (Vergabestelle)
I.1)
Namen und Adressen
I.3)
Kommunikation
elektronisch via:
http://www.evergabe-online.de
I.4)
Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen
I.5)
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)
Umfang der Beschaffung
Trockenchemische Ätzanlage (RIE)
M/HSB1/MT741/EIT2.1_MP
Industrielle Maschinen (42000000)
Lieferauftrag
Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Trockenchemischen Ätzanlage (RIE) inkl. Schulung
II.2)
Beschreibung
München, Landkreis (DE21H, NUTS 3)
Neubiberg
Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung einer trockenchemischen Ätzanlage (einer RIE (reaktive ion etch) Anlage). Dabei wird ein erprobtes System gesucht, welches zur Ätzung von dielektrischen Schichten (z.B. Siliziumnitrid, Siliziumoxid, Polymere und Fotolacke) und von Silizium geeignet ist. Die zu ätzenden Schichten befinden sich dabei auf Siliziumsubstraten. Substratformate sind hier vorwiegend Wafer mit den Durchmessern 100 mm, 150
mm und 200 mm; es sollen aber auch kleinere Formate und Bruchstücke in der Anlage geätzt werden. Es werden auch doppelseitig polierte Wafer prozessiert.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.
14.11.2022
29.09.2023
Varianten/Alternativangebote sind nicht zulässig.
ja
Siehe Leistungsbeschreibung.
Die Anlage muss mit einem in die Software integrierbaren Laserinterferometer-System nachrüstbar sein - bestehend aus Lichtquelle (670nm, x-y Tisch und Eintrittsfenster (>= 25 mm)). Der Preis für das System ist als Option im Angebot anzugeben.
nein
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
III.1)
Teilnahmebedingungen
Siehe Vergabeunterlagen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied).
Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt.
b) Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung gem. §12 des Vertrages unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.
Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
Der Hersteller/Bieter muss als Referenz 10 Anlagen aus den letzten 3 Jahren in Deutschland nennen, davon mind. 5 vom angebotenen Typ.
Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)
Beschreibung
Offenes Verfahren
ja
IV.2)
Verwaltungsangaben
25.10.2022
13:00
- Deutsch (DE)
14.12.2022
25.10.2022
13:00
entfällt
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)
Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist kein wiederkehrender Auftrag.
VI.2)
Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Aufträge werden elektronisch erteilt
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die Zahlung erfolgt elektronisch
VI.3)
Zusätzliche Angaben
Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattform einzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf www.evergabe-online.de zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen der Angebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter (Sig-Client) für elektronische Signaturen sowie das LV-Cockpit (www.lv-cockpit.de).
Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen, Angeboten und Interessensbestätigungen verwendeten elektronischen Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. Verwendete Verschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform.
Weitergehende Informationen stehen auf https://www.evergabe-online.info bereit.
1) Die Angebote sind elektronisch in Textform (§ 126b BGB) über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal einzureichen. Nähere Informationen stehen auf der Startseite des in Ziffer I.3) genannten Vergabeportals zur Verfügung.
2) Die gesamte Kommunikation zwischen Auftraggeber und Bietern (auch Rückfragen zum Angebot) findet ausschließlich über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal statt. Der Auftraggeber wird alle Fragen und Antworten auf dem in Ziffer I.3) genannten Vergabeportal anonymisiert zur Verfügung stellen.
3) Die Bildung von Bietergemeinschaften (BG) ist nur bis zur Abgabe des Angebots möglich. Die Angaben zur Zusammensetzung der BG sind grundsätzlich bindend. Ein Austausch einzelner Mitglieder der BG vor Auftragsvergabe bedarf der Zustimmung des Auftraggebers. Die Abgabe von Angeboten durch BG ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter möglich. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmachtmittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der BG namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrages zu bezeichnen. Der Auftraggeber behält sich ausdrücklich vor, diese Angaben nachzufordern. Bei der Eignungsprüfung wird die BG als Ganzes beurteilt.
4) Mehrfachbewerbungen, als Einzelbieter sowie als Mitglied einer/mehrerer BG, sind nicht zulässig. Soweit mehrere Unternehmen im Rahmen der Vergabe miteinander kooperieren (z. B. über ein gemeinsames Tochterunternehmen, als Nachunternehmer oder im Rahmen einer BG), behält sich der Auftraggeber vor, Nachweise dafür zu fordern, dass die Kooperation als Ganzes sowie die Teilnahme der einzelnen Unternehmen an der Kooperation zulässig ist, insbesondere keine unzulässige wettbewerbsbeschränkende Abrede getroffen wurde. Für jeden Teilnehmer der Kooperation wäre dann zu begründen, inwieweit sein Entschluss zur Teilnahme an der Kooperation eine im Rahmen von zweckmäßigen und kaufmännisch vernünftigen
Handelns liegende Entscheidung ist, z. B. weil der jeweilige Teilnehmer zur Zeit der Bildung der Kooperation überhaupt nicht oder jedenfalls zu dieser Zeit nicht über die erforderliche Kapazität zur Durchführung des hier ausgeschriebenen Auftrages verfügt oder aus anderen Gründen erst die Kooperation den jeweiligen Teilnehmer
in die Lage versetzt, ein erfolgversprechendes Angebot abzugeben.
5) Auf die Möglichkeit der Eignungsleihe nach § 47 VgV wird hingewiesen. Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die
Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bewerber im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
6) Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden (soweit vorhanden, sonst eigene Formulare verwenden). Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
VI.4)
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
§ 160 GWB Einleitung, Antrag
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt,
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2 GWB. § 134 Absatz 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.
§ 134 GWB Informations- und Wartepflicht
https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__134.html
§ 135 Unwirksamkeit
VI.5)
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
21.09.2022