Ausschreibungsdetails
Auftragsbekanntmachung
Richtlinie 2014/24/EUAbschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber (Vergabestelle)
elektronisch via:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=473661Im Rahmen der elektronischen Kommunikation ist die Verwendung von Instrumenten und Vorrichtungen erforderlich, die nicht allgemein verfügbar sind. Ein uneingeschränkter und vollständiger direkter Zugang zu diesen Instrumenten und Vorrichtungen ist gebührenfrei möglich unter :
http://www.evergabe-online.deEinrichtung des öffentlichen Rechts
Bildung
Abschnitt II: Gegenstand
Sputter-Depositionssystem
TU-086/22-21-EI
Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
Für wissenschaftliche Zwecke (FG11)
Lieferauftrag
Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Sputter Depositionssystems zur
Abscheidung dünner Filme aus elektrisch leitenden bis isolierenden, ferromagnetischen sowie
nichtferromagnetischen Materialien, als auch für reaktive Sputter Prozesse von Oxid- sowie Nitrid-
Schichten in Schichtkombination ohne Vakuumunterbrechung.
420.168,00
EUR Euro
Ilm-Kreis (DEG0F, NUTS 3)
TU Ilmenau
Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Sputter-Depositionssystems zur
Abscheidung dünner Filme aus elektrisch leitenden bis isolierenden, ferromagnetischen sowie
nichtferromagnetischen Materialien, als auch für reaktive Sputter-Prozesse von Oxid- sowie Nitrid-
Schichten in Schichtkombination ohne Vakuumunterbrechung. Zur Herstellung und Untersuchung von
Vielelementsystemen, entweder co-gesputtert oder als Multilagen, muss die Anlage über mindestens
4 voneinander unabhängige Sputterquellen verfügen.
Dafür ist eine spezifisch ausgestattete Anlage erforderlich, die im Besonderen eine hohe Variabilität
der Sputter-Geometrie und der Prozessparameter für eine Optimierung der elektronischen, optischen,
magnetischen und weiteren Eigenschaften der Schichten besitzt. Für kombinatorische
Untersuchungen abhängig von Schichtdicke und Zusammensetzung (bei co-gesputterten Schichten)
müssen Schichten mit kontrollierten linearen und gestuften über die Substratfläche verlaufenden
Schichtdickengradienten abgeschieden werden können. Kontrollierte lineare und gestufte
Konzentrationsgradienten über die Schichtdickenrichtung sollen mittels Co-Sputtern von bis zu 4
Materialien erzeugt werden können. Des Weiteren wäre ein Reinigungs- oder Aktivierungsprozess der
Substratoberfläche im Vakuum mittels Plasmaeinwirkung unmittelbar vor den Abscheideprozessen
vorteilhaft.
Die Anlage sollte eine hohe Flexibilität hinsichtlich der Sputtergeometrie und der Plasmabedingungen
zur Beeinflussung der Schichteigenschaften aufweisen. Die Anlage soll zudem zur wissenschaftlichen
Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung dienen.
Für einen zukunftssicheren Forschungseinsatz ist eine Erweiterbarkeit der Anlage um weitere
Komponenten besonders vorteilhaft.
Für den vorgesehenen Forschungseinsatz spielt die Prozessentwicklung und -optimierung eine
besondere Rolle. Es sollen unter anderem neue Methoden zur Prognose von Schichtparametern
entwickelt werden. Dafür soll die Möglichkeit bestehen, komplexe Prozessabläufe unter Nutzung
grundlegender Programmierlogik zu definieren. Darüber hinaus sollen alle wesentlichen Prozess- und
Maschinenparameter der Anlage für Abfragen durch ein externes Datenbanksystem verfügbar sein.
420.168,00
EUR Euro
Laufzeit in Tagen: 1
Varianten/Alternativangebote sind nicht zulässig.
nein
nein
Zahlungsbedingungen:
Zahlungsplan:
90% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer
10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV
Abschnitt A. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ werden für den
genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Eintragung in das Berufsregister ihres Sitzes oder Wohnsitzes. Das Formblatt
„EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in I.3)
genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch
Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische
Eigenerklärung“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben
verlangt:
- Der allgemeine Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre oder der durchschnittliche Jahresumsatz des
Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3 Jahre
- der spezifische Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem vom Auftrag
abgedeckten Geschäftsbereich der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre oder
der durchschnittliche Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem
betreffenden Bereich der letzten 3 Jahre
- Sind die Informationen zum Umsatz (allgemeiner oder spezifischer Umsatz)
nicht für den gesamten vorgegebenen Zeitraum erhältlich, Angabe, an welchem
Datum das Unternehmen des Wirtschaftsteilnehmers gegründet wurde oder
seine Tätigkeit aufgenommen hat
- Angaben zur Berufshaftpflichtersicherung.
Das Formblatt „EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in
I.3) genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung,
Zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der
Auflagen zu überprüfen:
- Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe
der EEE Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre)
Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung
“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Angaben zu Lieferungen und Dienstleistungen der genannten Art (dem
Auftragsgegenstand vergleichbare Leistungen),
- Angaben zu technischen Fachkräften oder technischen Stellen,
- Angaben zur technischen Ausrüstung und Maßnahmen zur Qualitätssicherung
- Angaben zur Vertragserfüllung, Lieferkettenmanagement und
Überwachungssystem
- Angabe zur Kontrollmöglichkeit der Produktionskapazität bzw. seine
technische Leistungsfähigkeit sowie der Qualitätskontrolle
- Angaben zu Ausbildungsnachweisen oder Bescheinigungen über die berufliche
Befähigung (Dienstleister oder Unternehmen selbst oder seiner Führungskräfte)
- Angaben zu Umweltmanagementmaßnahmen, Angaben zu den
durchschnittlich jährlich Beschäftigtenzahlen und die Zahl seiner
Führungskräfte in den letzten 3 Jahren
- Angaben zu Ausstattung, Geräte und technischen Ausrüstungen
- Angaben zur Unterauftragsvergabe, Bescheinigungen zu
Qualitätssicherungsnormen, Bescheinigungen zur Erfüllung der Anforderungen
an die Umweltmanagementsysteme oder -normen.
Das Formblatt
„EEE Einheitliche
Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in I.3) genannten
Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum Ausfüllen kann
auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung zusätzliche Angaben:
Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und wiederverwenden der
EEE genutzt werden.
Abschnitt IV: Verfahren
Offenes Verfahren
ja
22.09.2022
09:30
- Deutsch (DE)
04.11.2022
22.09.2022
09:30
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Dies ist kein wiederkehrender Auftrag.
Aufträge werden elektronisch erteilt
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die Zahlung erfolgt elektronisch
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3
dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei
zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0228/99
610 1234 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der
EEE unter dem Link: https://uea.publicprocurement.be/filter?lang=de
Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die
Option " eine Antwort erstellen" anklicken
Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden
muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.
„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken.
Der Globalvermerk ist nicht anzukreuzen.
Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)
sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.
Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben
sind die Teile I-III der EEE auszufüllen.
Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden
Erklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss
der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen.
Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach
Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.
entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
15.08.2022