Tendering Procedure

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)

M/HSB1/LT349/EIT2.1_MM

Industrielle Maschinen (42000000)

Lieferauftrag

Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.

Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.

Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

1.280.000,00

EUR Euro

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)

München, Landkreis (DE21H, NUTS 3)

Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten.

Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts.

Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren.

Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar.

Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags.

Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können.

Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Laufzeit in Monaten:45

Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.

ja

Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.

nein

Bieter haben die Möglichkeit, Altteile aus der bestehenden Anlage der UniBw M zu übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Formlose, unterschriebene Eigenerklärung, aus der hervorgeht, dass:

- keine Ausschlussgründe im Sinne der §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne von § 125 GWB durchgeführt worden sind,

- der Bieter in das einschlägige Berufsregister oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslandes eingetragen ist sowie für seine Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seine

Berufsgenossenschaft rückstandlos Beiträge entrichtet hat.

b) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt (z.B. durch Angabe der Gründe, die zur Bildung der Bewerbergemeinschaft geführt haben), und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden. Die Bildung von Bietergemeinschaften ist nur bis zur Abgabe des Angebotes möglich. Die Abgabe von Angeboten durch

Bietergemeinschaften ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter zulässig. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der Bietergemeinschaft namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie Abschluss und Durchführung des Vertrages zu bezeichnen. Bei der Eignungsprüfung wird die Bietergemeinschaft als Ganzes beurteilt. Bietergemeinschaften müssen eine(n) einzige(n) Ansprechpartner(in) benennen.

c) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit

Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Entwicklung, Lieferung und Wartung von Molekularstrahlepitaxieanlagen).

b) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Vorlage von Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung (Entwicklung, Lieferung und Wartung von Molekularstrahlepitaxieanlagen) vergleichbar sind aus den in den letzten bis zu 5 abgeschlossenen Geschäftsjahren, unter Angabe des genauen Auftrags, der Auftragssumme, des Auftraggebers, der Leistungszeiträume, der Referenzen mit Ansprechpartnern inkl. Tel.-Nr.

b) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Möglicherweise geforderte Mindeststandards:

Aus den eingereichten Referenzen muss sich ergeben, dass der Bieter in den vergangenen fünf Jahren mindestens

a) fünf Anlagen für SiGe Epitaxie und

b) eine Anlage für PtSe2

hergestellt hat.

Offenes Verfahren

ja

29.10.2021

13:00

• Deutsch (DE)

2 (ab dem Schlusstermin für den Eingang der Angebote)

29.10.2021

13:00

entfällt

Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen. Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist bei dem Auftraggeber zu rügen.