Tendering Procedure

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems

M/HSB1/LT466/DTEC_HW

Elektronenmikroskope (38511000)

Lieferauftrag

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben.

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems.

Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben.

Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung.

Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die

Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

München, Landkreis (DE21H, NUTS 3)

Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben.

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems.

Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben.

Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung.

Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die

Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.03.2022 abgeschlossen sein.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Preis

22.11.2021

30.03.2022

nein

nein

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied):

a) Formlose Eigenerklärung, aus der hervorgeht,

— dass keine Ausschlussgründe im Sinne des §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne des § 125 GWB durchgeführt worden sind;

— der Bieter in das einschlägige Berufsregister (Handelsregister oder Handwerksrolle) oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslandes eingetragen ist sowie für seine Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seiner Berufsgenossenschaft rückstandslos Beiträge entrichtet hat sowie seinen steuerlichen Verpflichtungen nachgekommen ist.

b) Formlose Eigenerklärung, in der der Bieter erklärt, ob und welche Teilleistungen des ausgeschriebenen Auftrags er durch Nachunternehmer ausführen lassen wird.

c) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt, und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden.

Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3. genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Elektronenstrahllithografiesystemen).

b) Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von mindestens Euro 1,5 Millionen pro Schadensfall, 2-fach maximiert, unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.

Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.

Bieter sollten die auf der in Ziffer I.3) genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Vorlage von mindestens drei Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung vergleichbar sind aus den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, einschließlich der Angabe eines Ansprechpartners bei dem jeweiligen Auftraggeber der als Referenz genannten Aufträge. Mit den Referenzen sollen die Bieter möglichst Erfahrung mit in der nicht invasiven Messung von Magnetfeldern (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Elektronenstrahllithografiesystemen) nachweisen.

b) Angabe der Anzahl der in den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren durchschnittlich jährlich beschäftigten Arbeitskräfte insgesamt und gesondert ausgewiesen das technische Leitungspersonal

Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.

Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Offenes Verfahren

ja

01.11.2021

13:00

• Deutsch (DE)

01.12.2021

01.11.2021

13:01

entfällt

§ 160 GWB Einleitung, Antrag

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2 GWB. § 134 Absatz 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

§ 134 GWB Informations- und Wartepflicht

https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__134.html

§ 135 Unwirksamkeit

https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__135.html